測量原理：質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。

　　1、質量流量傳感器優勢：

　　（１）靈敏度高：熱式傳感器對溫度的變化非常敏感，因此非常易于測量；

　　（２）功耗低：因為尺寸和感溫材料的不斷優化，傳感器的功耗越來越低；

　　（３）尺寸小：現在的熱式傳感器結構因為采用ＭＥＭＳ工藝，一般是厘米或者微米級；

　　（４）量程大：測量下限很低，可以測量微小流量；

　　（５）集成度高：結合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號處理電路集成到一起；

　　（６）結構簡單：硅基片上結構包裝后方便安裝在需要的設備上；

　　（７）成本低：可以結合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產。

　　2、質量流量傳感器劣勢：

　　（１）測量氣體組分單一：當氣體種類改變時，不同氣體的導熱系數、粘度、比熱容都有差別，測量時會帶來較大的誤差；

　　（２）要求氣體干燥無污染：濕度較大的氣體對傳感器表面的熱量交換有影響，進而影響到輸出結果；顆粒物對傳感器的輸出結果也有影響。